晶圆清洗机
适用于
晶圆切割后的洗净。可通过人机界面任意设定清洗类型、流量、旋转速度、清洗时间、清洗位置及清洗流程，达到有效果且有效率的清洗 尺寸 宽*深*高 500mm x 600mm x 1600mm
主要流程说明
●通过人机界面设置好清洗流程及参数 ●人工将晶圆放入清洗槽中，盖上清洗盖，按Start开始清洗 ●清洗完成后，人工取出晶圆
产品优势
设备同时搭载3种喷嘴（气体喷嘴、二流体喷嘴、一流体喷嘴），通过智能切换，可不停机切换清洗类型，除了标准规格的高压清洗喷嘴之外，还可选择水汽二流体清洗、清洗液清洗、洁净气体喷淋、甩干
晶圆清洗
可设置清洗流程
搭载多种喷嘴
多种清洗模式
所属分类：
半导体
产品详情
设备同时搭载3种喷嘴（气体喷嘴、二流体喷嘴、一流体喷嘴），通过智能切换，可不停机切换清洗类型，除了标准规格的高压清洗喷嘴之外，还可选择水汽二流体清洗、清洗液清洗、洁净气体喷淋、甩干
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自动晶圆补胶机
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