清洗良率：100%（距离30cm目视carrier表面无移动灰尘、毛丝及其它杂质；无因清洗新增加划伤、划痕；侧面无脏物堆集；烘烤后干净干燥，无水印水渍残留）
本设备可实现单机作业与连线作业两种模式 ●振动频率可调，调节范围为0-20Hz，调节视窗可视且频率可监控，可根据需求切换变频振动 ●进水过滤系统，滤芯等级≤0.5μm ●离心清洗转盘转速：0-1000rad/min（0-1000rad/min可设置运行，1000rad/min以上尝试） ●振动模块：可实现多种清洗模式选择，进行多段组合清洗设置
●清洗良率：≥ 99.5％(1um 以上尘点洗净率，除二次污染外) ●可灵活单机、连线模式使用
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