晶圆清洗

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晶圆清洗机

晶圆清洗机

设备同时搭载3种喷嘴（气体喷嘴、二流体喷嘴、一流体喷嘴），通过智能切换，可不停机切换清洗类型，除了标准规格的高压清洗喷嘴之外，还可选择水汽二流体清洗、清洗液清洗、洁净气体喷淋、甩干

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晶圆清洗

可设置清洗流程

搭载多种喷嘴

多种清洗模式

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